01
MOCVD 磊晶機
設備項目
02
E-Gun / Sputter 蒸鍍機 / 濺鍍機
03
Mask Aligner 手動 /自動曝光機
04
Stepper 步進式曝光機
05
Develop 顯影設備
06
ICP 蝕刻設備
07
晶圓切割
08
Grinding / Lapping / Polising研磨設備
09
SEM / TEM 電子顯微鏡
- 真空幫浦
- 冷卻水循環系統
- 全新鍍金靶材買賣訂製 (Au,Pt,Ag)
10
晶圓量測設備
MOCVD 磊晶機
E-Gun / Sputter 蒸鍍機 / 濺鍍機
Mask Aligner 手動 /自動曝光機
Stepper 步進式曝光機
Develop 顯影設備
ICP 蝕刻設備
晶圓切割
Grinding / Lapping / Polising研磨設備
SEM / TEM 電子顯微鏡
晶圓量測設備